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化(hua)學(xue)指標單位(wei)：μg/L
序號 | 水質項(xiang)目 | 一(yi)級高純水指標 | 二級高純水指標 |
1 | 電阻率（25℃）MΩ·cm | ≥15 | ≥10 |
2 | 電(dian)導率，μs/cm | 0.05 | 0.1 |
3 | PH值 | 6.8～7.2 | 6.6～7.4 |
4 | 細菌總數，個/mL | ＜3 | ＜9 |
5 | 微粒（直徑＞0.5μm，粒/mL） | ＜150 | ＜300 |
6 | 二氧化硅 | ＜10 | ＜20 |
7 | 有機物（以(yi)COD計） | ＜0.3 | ＜0.5 |
8 | 鈉 Na | ＜0.5 | ＜2 |
9 | 鐵(tie) Fe | ＜1 | ＜2 |
10 | 銅 Cu | ＜0.5 | ＜1 |
11 | 鈣 Ca | ＜1 | ＜3 |
12 | 鎂 Mg | ＜0.2 | ＜1 |
13 | 鋅 Zn | ＜0.5 | ＜1 |
14 | 錳 Mn | ＜0.2 | ＜0.5 |
說明：①一(yi)級高純水合用于大規模集成電路，微波器件以及有相同要求到半導體器件產品。
②二(er)級高純(chun)水合用(yong)于(yu)一般(ban)電路，分立器件以及有相同要求的半導體器件產品(pin)。
③本表(biao)按1980年電子產(chan)業部(bu)尺(chi)度摘錄。
"工業超純水水質標準是什么?"由“中水回用”廠(chang)家-瀅源水(shui)處理設備整理發布，如需轉載請(qing)注(zhu)明來源及出處，原文地址：//zhihuimeivip.com/news/318.html
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